千佛殿建于唐贞观年间，宋嘉祐和明嘉靖、万历年间重修，现存木结构为明代建筑。千佛殿是灵岩寺内现今保存最为完好，规模最宏大的一座建筑，由慧崇和尚创建于贞观年间。宋嘉祐六年(1061年)琼环长老重建;明嘉靖年间又重建。现存的千佛殿是明万历十五年(1587年)德藩施资重修的。千佛殿最引人入胜，也是历来为天下人所称道的，莫过于殿内那些安置在四壁台座上的40尊宋代彩色泥塑罗汉，其被誉为“海内第一名塑”。